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            化工儀器網(wǎng)>行業(yè)應(yīng)用 >電子/電氣檢測>其他電子/電氣檢測>正文

            光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測器應(yīng)用簡報(bào)

            檢測樣品:集成電路

            檢測項(xiàng)目:光酸劑

            方案概述:光刻膠中的光酸劑(PhotoacidGenerator,PAG)是關(guān)鍵成分,在紫外曝光后釋放酸,驅(qū)動光刻膠的化學(xué)反應(yīng)。英邁儀器的**電霧式檢測器(CAD)**能夠勝任對光酸劑的檢測,特別是在監(jiān)控PAG濃度及其穩(wěn)定性方面,對保障半導(dǎo)體制程至關(guān)重要。

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            更新時間2024年12月30日

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